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MEMS VOC氣體傳感器GM-502B

產品詳情

MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當傳感器所處存在氣體環境中時,傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發生改變。該氣體的濃度越高,傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號

檢測氣體種類

乙醇(C2H5OH): 1– 500ppm

甲苯(C7H8):1-500ppm

甲醛(CH2O):1-100ppm

傳感器特點

低功耗

高靈敏度

結構堅固

MEMS工藝

簡單的驅動電路

快速的響應恢復特性

主要應用

適用于室內空氣質量監測 、手機電腦等消費類子產品應用檢測空氣質量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內煙霧報警等。

技術參數

氣敏元件特性 符號 標準值 最小值 最大值 單位
傳感器電阻 R0 - 100 1500   KΩ
氣體(C2H5OH)檢測濃度 FS - 1 500 ppm
靈敏度 S50 - 1.2 50 -

注:1. R0 是在環境溫度23±5℃,環境濕度50±10%RH的標準工作條件下測得;
2. S50 即Rs(10ppm C2H5OH)/R0(in air)是在環境溫度23±5℃,環境濕度50±10%RH的條件下,傳感器在50ppm C2H5OH氣氛中的電阻值與傳感器在潔凈空氣中的電阻值的比值。

條件 符號 參數范圍 單位
最大加熱功率 PH 50 mW
回路電壓 VS 4.9 – 5.1 V
相對濕度范圍 RH 5 – 95 %RH
工作環境溫度 Ta -30 – 85 °C
儲存溫度范圍 TS -40 – 120 °C
儲存濕度范圍 RH 5 - 95 %RH
 
名稱 符號 標準值 最小值 最大值 單位
加熱功率 PH 55 50 60 mW
加熱電壓 VH 2.5 - - V
加熱電流 IH 22 - - mA
加熱電阻 RH 77 70 89 Ω

注:產品參數如有變動,恕不另行通知

 

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